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J-GLOBAL ID：201802240134891105   整理番号：18A0937491

HfCVDによりシリコン上に成長させたミクロ,ナノおよび超ナノ結晶ダイヤモンド膜のアフタグロー,熱ルミネセンスおよび光刺激ルミネセンス特性評価【JST・京大機械翻訳】

Afterglow, thermoluminescence and optically stimulated luminescence characterization of micro-, nano- and ultrananocrystalline diamond films grown on silicon by HFCVD

著者 (17件)： Montes-Gutierrez Jorge A. (Departamento de Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Montes-Gutierrez Jorge A. (Departamento de Fisica, Matematicas e Ingenieria, Lazaro Cardenas del Rio, No. 100, Francisco Villa, Navojoa 85880, Mexico) ,  Montes-Gutierrez Jorge A. (Materials Science and Engineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  Montes-Gutierrez Jorge A. (Bioengineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  Alcantar-Pena Jesus J. (Departamento de Investigacion en Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Alcantar-Pena Jesus J. (Materials Science and Engineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  Alcantar-Pena Jesus J. (Bioengineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  de Obaldia Elida (Facultad de Ciencia y Tecnologia, Universidad Tecnologica de Panama, Panama, Panama) ,  de Obaldia Elida (Materials Science and Engineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  de Obaldia Elida (Bioengineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  Zuniga-Rivera Nancy J. (Departamento de Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Chernov Valery (Departamento de Investigacion en Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Melendrez-Amavizca Rodrigo (Departamento de Investigacion en Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Barboza-Flores Marcelino (Departamento de Investigacion en Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Garcia-Gutierrez Rafael (Departamento de Investigacion en Fisica, Universidad de Sonora, A.P. 5-088, Hermosillo, Sonora 83190, Mexico) ,  Auciello Orlando (Materials Science and Engineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States) ,  Auciello Orlando (Bioengineering Department, University of Texas at Dallas, 800 W. Campbell Rd., RL 10, Richardson, TX 75080-302, United States)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 85  ページ： 117-124  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高硬度,耐食性,高熱伝導性,化学的不活性,非毒性および生体適合性のようなダイヤモンドの例外的な組合せ特性は,それをオプトエレクトロニクス,エレクトロニクス,および生物医学デバイスの新しい世代における応用のための良い候補にする。本論文では,多結晶ダイヤモンド膜の合成とそれらの光電子特性のキャラクタリゼーションに関する系統的研究に焦点を当てた。研究は,研究した多結晶ダイヤモンド膜の構造,表面形態および結晶粒サイズと,ダイヤモンド膜の残光(AG)および熱ルミネセンス(TL)および光刺激ルミネセンス(OSL)の間の関係を特性化することに焦点を合わせた。熱フィラメント化学蒸着(HFCVD)によりSi(111)基板上に成長させた微結晶ダイヤモンド(MCD,≧1μm粒径),ナノ結晶ダイヤモンド(NCD,≧10~100nm結晶粒サイズ)および超ナノ結晶ダイヤモンド(UNCD,2~10nm粒径)の3種類の多結晶ダイヤモンド膜を調べた。MCD膜を8時間成長させ,NCD膜を,CH_4(3sccm流)とH_2(200sccm流)ガス流の混合物を用いて,約800°Cに加熱した基板表面上に4時間成長させた。UNCD膜は,CH_4(1sccm流),H_2(5sccm流),Ar(45sccm流)ガス流の混合物を用いて,約600°Cで基板表面上に2時間成長させた。MCD及びNCD膜は,ダイヤモンドに対して典型的なRamanスペクトル(可視532nmレーザ波長を用いて)を示し,1332cm-1で明確なピークを有し,ダイヤモンド構造の良好な品質を示した。UNCD膜のRamanは,可視Raman(532nmレーザ波長)で顕著な特性D(1344cm-1)とG(1389cm-1)バンドを示した。ベータ照射後,全ての膜は類似のグローと減衰曲線をもつ顕著なAG,TL及びOSL信号を示し,強度はダイヤモンド膜構造に依存した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多結晶 ,  *ケイ素 ,  *ダイヤモンド ,  耐食性 ,  生体適合性 ,  結晶粒径 ,  *熱ルミネセンス ,  微結晶 ,  Ramanスペクトル ,  *キャラクタリゼーション ,  気体流 ,  オプトエレクトロニクス
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *光刺激ルミネセンス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： HFCVD ,  微結晶ダイヤモンド ,  ナノ結晶ダイヤモンド ,  超ナノ結晶ダイヤモンド ,  Ag ,  TL ,  OSL

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： HFCVD ,  シリコン ,  成長 ,  ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  アフタグロー ,  熱ルミネセンス ,  光刺激ルミネセンス ,  特性評価