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J-GLOBAL ID：201802240154615536   整理番号：18A1044599

化学品質管理汚染フリー製造への全体的アプローチによる化学品質改善の発見【JST・京大機械翻訳】

Uncovering chemical quality improvements through a holistic approach to chemical quality management Contamination Free Manufacturing

著者 (1件)： Colligan Nora (Samsung Austin Semiconductor, Austin, TX USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ASMC  ページ： 286-290  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,供給者からウエハ表面への供給者からの超純粋化学物質中の粒子を監視する全体論的アプローチに焦点を当てた。臨界次元縮小として,この理解は,それらを供給する洗浄装置,プロセス,および化学デリバリーシステムにとって非常に重要になるであろう。粒子監視能力における進歩する技術は,ウエハ粒子計測に類似の次元の液体粒子数を測定することを可能にし,2つの相関の機会を可能にした。供給チェーンのすべての側面における粒子改良の機会の例を,供給者から使用のポイントまで示した。これらのシステムの複雑さのために,粒子モニタリングがウエハ粒子レベルに対する液体粒子数の相関を完成させ,最終的にウエハ収率を完成させる機会がある。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 臨界 ,  洗浄装置 ,  *品質管理 ,  次元縮小 ,  化学物質
準シソーラス用語： 複雑性 ,  サプライチェーン ,  *品質改善 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学 ,  品質管理 ,  汚染 ,  品質改善 ,  発見