文献

J-GLOBAL ID：201802240761147232   整理番号：18A1567932

レーザ焼なまし中のFドープSnO_2薄膜の形態と光電特性に及ぼす超音波振動の影響【JST・京大機械翻訳】

Influences of ultrasonic vibration on morphology and photoelectric properties of F-doped SnO₂ thin films during laser annealing

著者 (13件)： Li Bao-jia (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Li Bao-jia (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Li Bao-jia (Department of Mechanical and Industrial Engineering, University of Iowa, Iowa City, IA 52242, USA) ,  Wang Yong-ying (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Wang Yong-ying (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Huang Li-jing (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Huang Li-jing (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Cao Hai-di (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Cao Hai-di (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Wang Qinghua (Department of Mechanical and Industrial Engineering, University of Iowa, Iowa City, IA 52242, USA) ,  Ding Hongtao (Department of Mechanical and Industrial Engineering, University of Iowa, Iowa City, IA 52242, USA) ,  Ren Nai-fei (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Ren Nai-fei (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 458  ページ： 940-948  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： FドープSnO_2(FTO)薄膜の形態と光電特性を改善するために,効果的な戦略,すなわち超音波振動と結合したレーザアニーリングを開発した。振動周波数とパワーの影響を,X線回折計(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(AFM),UV-Vis分光光度計,およびデジタル四点プローブ装置によって研究した。比較のために純レーザアニーリングも行った。結果は,純粋なレーザアニーリングよりも超音波振動と結合したレーザアニーリングが,配向した結晶粒成長を著しく容易にし,膜残留応力を低減し,膜のコンパクト性と均一性を強化し,膜表面の粗さと厚さを減少させ,膜の光電特性を改善することを示唆した。適切な振動周波数とパワーがFTO膜の性能を最適化するために重要であることは注目に値した。本研究では,48kHzと300Wの超音波振動と結合したレーザアニーリングにより,最高平均透過率85.3%と最低シート抵抗8.8Ω/sqを達成し,その結果,元のFTO膜では1.13×10-2Ω-1,純レーザアニールFTO膜では1.29×10-2Ω-1の最大性能指数が得られた。これらの結果は,透明導電性酸化物(TCO)膜の性能最適化のための科学的基礎と参照を提供し,TCO膜の研究分野と関連するオプトエレクトロニクス応用における科学者の興味を引き付けると信じられる。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 残留応力 ,  X線回折 ,  透過率 ,  結晶成長 ,  *薄膜 ,  オプトエレクトロニクス ,  *形態 ,  *ドーピング ,  走査電子顕微鏡 ,  シート抵抗 ,  最適化 ,  *超音波振動 ,  表面粗さ ,  コンパクト性
準シソーラス用語： 透明導電性酸化物 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： FドープSnO_2(FTO) ,  超音波振動 ,  レーザアニーリング ,  形態学 ,  光電特性

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ焼なまし ,  ドープ ,  薄膜 ,  形態 ,  光電特性 ,  超音波振動