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J-GLOBAL ID：201802240950792865   整理番号：18A1045010

大容量BAW生産のための自動化によるレガシープロファイラの容量/利用の改善【JST・京大機械翻訳】

Legacy profiler capacity/utilization improvement with automation for high volume BAW production

著者 (4件)： He Yanghua (Process Engineering, Qorvo, Inc., Richardson, Texas, USA) ,  Nappa Dario (Process Engineering, Qorvo, Inc., Richardson, Texas, USA) ,  Nevarez Hector (Process Engineering, Qorvo, Inc., Richardson, Texas, USA) ,  Lube Michael (Process Engineering, Qorvo, Inc., Richardson, Texas, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： CSTIC  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高容量BAW生産には計測能力が不十分な場合には測定がボトルネックとなる。プロファイルはCMPを含む重要な領域におけるステップ高さデータを提供するのに重要である。レガシープロファイルは,ウエハを測定しながらマルチタスク機能をサポートしない。本論文では,データ解析システムとプロファイラ自動化を統合するための革新的な方法論について述べた。プロファイラ自動化は,計測能力と利用を著しく改善し,レガシープロファイルを最先端のツールに変換する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： データ解析 ,  *自動化
準シソーラス用語： *プロファイラ ,  マルチタスク , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生産工程一般  (KB03010T) ,  計算機システム開発  (JD02010R)

タイトルに関連する用語 (2件)： 大容量 ,  自動化