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J-GLOBAL ID：201802241120656859   整理番号：18A0910813

スピンコート法によるアルミニウムとガリウムを共ドープしたZnO多層透明導電膜の作製およびその性能向上に関する考察

Fabrication of aluminum and gallium codoped ZnO multilayer transparent conductive films by spin coating method and discussion about improving their performance

著者 (2件)： MORITA Yusuke (Doshisha Univ., Kyoto, JPN) ,  OHTANI Naoki (Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 2S2  ページ： 02CB03.1-02CB03.5  発行年： 2018年02月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *スピンコーティング ,  アルミニウム ,  ガリウム ,  ドーピング ,  *酸化亜鉛 ,  多層膜 ,  *透明導電膜 ,  FTIR分光法 ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  シート抵抗 ,  透過率 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 共ドーピング ,  分光透過率

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  可視・紫外スペクトル一般  (BM08081Q)

タイトルに関連する用語 (9件)： スピンコート ,  アルミニウム ,  ガリウム ,  ドープ ,  ZnO ,  多層 ,  透明導電膜 ,  作製 ,  性能向上