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J-GLOBAL ID：201802241595441353   整理番号：18A0970825

その場表面X線研究のためのハイブリッド分子ビームエピタクシー堆積システムの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of a hybrid molecular beam epitaxy deposition system for in situ surface x-ray studies

著者 (6件)： Andersen Tassie K. (Materials Science Division, Argonne National Laboratory, 9700 S. Cass Ave., Argonne, Illinois 60439, USA) ,  Cook Seyoung (Materials Science Division, Argonne National Laboratory, 9700 S. Cass Ave., Argonne, Illinois 60439, USA) ,  Benda Erika (Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, 9700 S. Cass Ave., Argonne, Illinois 60439, USA) ,  Hong Hawoong (Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, 9700 S. Cass Ave., Argonne, Illinois 60439, USA) ,  Marks Laurence D. (Department of Materials Science and Engineering, Northwestern University, 2220 Campus Dr., Evanston, Illinois 60208, USA) ,  Fong Dillon D. (Materials Science Division, Argonne National Laboratory, 9700 S. Cass Ave., Argonne, Illinois 60439, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 89  号： 3  ページ： 033905-033905-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 先進フォトンソースのビームライン33-ID-Eにおいて,既存の分子線エピタクシーチャンバーとインターフェースするために設計され,構築された携帯型有機金属ガス配送システムを記述した。このシステムは,ハイブリッド分子線エピタクシーによる複雑な酸化物成長のその場X線測定を行う能力を提供する。有機金属源材料を供給しながら,ハイブリッド分子線エピタクシーシステムの性能を記述した。ハイブリッド分子線エピタクシーシステムの高エネルギーX線散乱能力を,有機金属源と伝統的な浸出セルの両方から元素を含むABO_3酸化物ペロブスカイトからのみ成長させた酸化物膜の両方で実証した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *X線 ,  散乱 ,  *MBE成長 ,  酸化膜 ,  浸出 ,  インタフェイス ,  有機金属化合物 ,  ビームライン ,  酸化物 ,  携帯型
準シソーラス用語： 高エネルギーX線 ,  チャンバ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  開閉装置  (NB09030I) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： X線 ,  研究 ,  分子ビームエピタクシー ,  堆積システム ,  開発