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J-GLOBAL ID：201802241646724521   整理番号：18A0618683

白金の特性化とテラヘルツアンテナ結合ボロメータ応用のためのチタンサーミスタ【Powered by NICT】

Characterization of platinum and titanium thermistors for terahertz antenna-coupled bolometer applications

著者 (5件)： Banerjee Amit (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Japan) ,  Satoh Hiroaki (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Japan) ,  Sharma Yash (Graduate School of Science and Technology, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, 432-8011, Japan) ,  Hiromoto Norihisa (Graduate School of Science and Technology, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, 432-8011, Japan) ,  Inokawa Hiroshi (Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 273  ページ： 49-57  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロボロメータは,赤外(IR)およびテラヘルツ(THz)波のための放射線検出器である。サーミスタの抵抗の温度係数(TCR)は重要な因子である,応答性は比例し,雑音等価電力(NEP)はそれに逆比例した。種々の設計幅(DW)=0.1 5μmの白金(Pt)およびチタン(Ti)サーミスタの二種類の基板(SiO_2/SiとSiN_X/SiO_2/Si)上のTCRと抵抗率に及ぼす狭幅効果を調べた。減少した線幅をもつ素子の抵抗率増加とT CRを低下させ,両金属に対して一般的に観察され,経験式,異なる基板で十分,維持されると適合させた。を電子後方散乱回折(EBSD)の結果減少した平均粒径型Ti膜を示すTiナノワイヤ(DW=0.1 μm)から,減少したTCRは材料の結晶配向あるいは相変化に依存しないが,幅の減少による減少した粒径と相関させることができることは明らかである。設計要求を考慮した最適値,DW=0.1μmと0.2μmのサーミスタはマイクロボロメータの作製のための更なる使用されている。DW=0.1μm Tiサーミスタの素子は,DW=0.2μm(254 V/W)よりも最大許容電流で~1.5倍高い電気応答性(376 V/W)を有することを見出しているが,これはDW=0.1μm Ptサーミスタの素子よりも~11倍高かった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 相転移 ,  電気抵抗率 ,  *テラヘルツ波 ,  赤外線 ,  応答特性 ,  結晶方位 ,  放射線検出器 ,  *キャラクタリゼーション ,  粒径 ,  *白金 ,  *サーミスタ ,  *ボロメータ ,  ナノワイヤ ,  抵抗温度係数 ,  マイクロボロメータ

著者キーワード (5件)： テラヘルツ検出器 ,  マイクロボロメータ ,  狭小幅効果 ,  金属サーミスタ ,  Responsivity

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 白金 ,  特性化 ,  ボロメータ ,  応用 ,  チタン ,  サーミスタ