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J-GLOBAL ID：201802242201056843   整理番号：18A0137903

一段階製造によるエバネセントセンシングのためのテーパSU8導波路【Powered by NICT】

Tapered SU8 waveguide for evanescent sensing by single-step fabrication

著者 (4件)： Xin Yu (EWI, Delft, the Netherlands) ,  Pandraud Gregory (EWI, Delft, the Netherlands) ,  van Langen-Suurling Anja (Kavli Institute of Nanoscience, Delft University of Technology, Delft, the Netherlands) ,  French Paddy (EWI, Delft, the Netherlands)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSENS  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,SU8フォトレジストから作られた新規な垂直導波路をエバネセント生物医学光学センサの使用であることを初めて提案した。鉛直構造は,センシング面積を増加させ,容易で高分解能作製を可能にし,この光導波路は,光センシングにおける魅力的一段階リソグラフィー段階で作製することができた。テーパはアラインメント許容度を改善し,プラグ・アンド・プレイ光学系の製造を可能にするシステムに添加した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アラインメント ,  リソグラフィー ,  フォトレジスト ,  光導波路 ,  許容量 ,  高分解能 ,  光学系 ,  光センサ ,  *導波路
準シソーラス用語： 光センシング ,  生物医学 ,  *テーパ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 段階 ,  テーパ ,  導波路