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J-GLOBAL ID:201802242536928385   整理番号:18A0138245

調整可能な透過赤外フィルタのためのMEMSスイッチを集積化した二分子層メタ表面【Powered by NICT】

Bilayer metasurfaces integrated with MEMS switches for tunable transmissive IR filters
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: ICSENS  ページ: 1-3  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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統合,可動メタ表面を用いたマイクロエレクトロメカニカル(MEMS)スイッチは,スイッチの下の接地面に固定されたメタ表面と結合した。透過率と帯域幅は,MEMSスイッチの作動により調整可能である,または接触の二メタ表面をもたらした。シミュレーションの結果は,二つの状態間の60%までの電位変調を示した。作製課題のために,著者らは34%までの振幅変調は,改善された製作を持つ交換型状態間の可能性があることを実証したデバイスの12%測定の単一スイッチデバイスの最大振幅変調を観測した。も予想外に50%までの単一装置,帯域幅変調を観測した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (3件):
分類
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継電器・スイッチ  ,  その他の伝送回路素子  ,  固体デバイス製造技術一般 

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