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J-GLOBAL ID：201802242553759339   整理番号：18A1680623

マイクロガラス吹込プロセスにより作製した微細加工マイクロアキシコンの作製とキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and Characterization of Micromachined Micro-Axicons Made by Micro Glass Blowing Process

著者 (4件)： Gorecki Christophe (De ́partement MN2S, FEMTO-ST (UMR CNRS 6714), UBFC, 15 B Avenue des Montboucons, Besanc,on cedex, 25030, France) ,  Carrion Jose Vincente (De ́partement MN2S, FEMTO-ST (UMR CNRS 6714), UBFC, 15 B Avenue des Montboucons, Besanc,on cedex, 25030, France) ,  Passilly Nicolas (De ́partement MN2S, FEMTO-ST (UMR CNRS 6714), UBFC, 15 B Avenue des Montboucons, Besanc,on cedex, 25030, France) ,  Bargiel Sylwester (De ́partement MN2S, FEMTO-ST (UMR CNRS 6714), UBFC, 15 B Avenue des Montboucons, Besanc,on cedex, 25030, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： OMN  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アキシコンの特定の円錐形はいわゆるBesselビームの発生に適している。ここでは,マイクロ光学部品の小型化のために開発された技術的マイクロガラス発泡プラットフォームを紹介する。これは,ガラス吹込プロセス,シリコンマイクロマシニングおよび不均一結合を用いた。ここでは,ホウケイ酸ガラス中の微細加工されたマイクロアキシコンのための従来の製造方法に焦点を合わせた。Besselビームの発生を実証し,実験的に検証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ケイ素 ,  *キャラクタリゼーション ,  マイクロマシニング ,  起泡 ,  *アキシコン ,  *ガラス ,  ホウケイ酸ガラス ,  *微細加工 ,  円錐 ,  小型化 ,  *吹込
準シソーラス用語： Besselビーム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： ガラス ,  吹込 ,  プロセス ,  作製 ,  微細加工 ,  アキシコン ,  キャラクタリゼーション