文献

J-GLOBAL ID：201802242802104617   整理番号：18A0484545

けい素含有量修正による高温でのナノ複合材料Cr Mo Si N被覆層のトライボロジー特性【Powered by NICT】

Tribological properties of nanocomposite Cr-Mo-Si-N coatings at elevated temperature through silicon content modification

著者 (5件)： Lu Yu-Chu (Department of Material Science and Engineering, National Tsing-Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Chen Hsien-Wei (Institute for Advanced Study, Department of Materials Science and Engineering, City University of Hong Kong, Kowloon, Hong Kong) ,  Chang Chun-Chi (Department of Material Science and Engineering, National Tsing-Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Wu Cheng-Yu (Department of Material Science and Engineering, National Tsing-Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Duh Jenq-Gong (Department of Material Science and Engineering, National Tsing-Hua University, Hsinchu, Taiwan)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 338  ページ： 69-74  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CrMoN被覆は優れた機械的特性とトライボロジー特性を持つことが見いだされている,高硬度,固溶体強化による低摩擦と潤滑モリブデン酸化物の形成である。本研究では,種々のSi含有量を有するCrMoNの機械的およびトライボロジー特性を調べた。Si含有量0at.%から11.1at.%の範囲であった,四元Cr-Mo-Si-N皮膜は,シリコンウエハおよびインコネル718RFマグネトロンスパッタによって堆積した。ナノインデンテーションにより,硬度とCr-Mo-Si-NコーティングのH~3e~*2比が得られた。結果は,Cr-Mo-Si-Nコーティングの機械的特性はSi含有量によって強く影響されたことを示した。Cr-Mo-Si-Nコーティングは%Siドープ,柱状結晶粒は,ナノ複合材料構造に変化で7.5の硬さとH~3e~*2比の最高値を示した。ナノ複合材料構造の強化機構は亀裂の直接貫通の結晶粒微細化と防止に起因していた。さらに,Cr-Mo-Si-Nコーティングのトライボロジー挙動を750°Cと800°Cにおける大気中のボールオンディスク摩擦計により調べた。結果は,750°CでCr-Mo-Si-Nコーティングのトライボロジー特性を固体潤滑剤として摩耗痕上の保護酸化物形成とMoO_3の協力によるSi添加により著しく改善されることを示した。800°Cでは,750°Cのそれと比較して液相線MoO_3は摩擦係数の低下に重要な役割を形成し,果たした。高温では,MoO_3は低摩擦係数に寄与し,一方,低摩耗速度は耐摩耗性酸化物とナノ複合材料構造の存在に起因する。7.5at.%Siドーピングによって,Cr-Mo-Si-Nコーティングは,優れた機械的およびトライボロジー特性を示し,高温でwearproofと自己潤滑乾燥切削工具への応用の可能性をもたらした。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶粒微細化 ,  ナノインデンテーション ,  *高温 ,  耐摩耗性 ,  *ケイ素 ,  自己潤滑 ,  皮膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  摩擦係数 ,  *被覆 ,  *ナノ複合材料 ,  摩耗速度 ,  *被覆層 ,  硬度
準シソーラス用語： *トライボロジー特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ複合材料窒化コーティング ,  マグネトロンスパッタリング ,  高温トライボロジー特性 ,  自己潤滑 ,  耐摩耗性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (8件)： けい素 ,  含有量 ,  ナノ複合材料 ,  Cr ,  Mo ,  Si ,  被覆層 ,  トライボロジー特性