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J-GLOBAL ID:201802242890834306   整理番号:18A0053721

Optimization of a VOC Sensor with a Bilayered Diaphragm Using FBAR as Strain Sensing Elements

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資料名:
巻: 17  号:ページ: WEB ONLY  発行年: 2017年08月 
JST資料番号: U7015A  ISSN: 1424-8220  CODEN: SENSC9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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