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J-GLOBAL ID：201802242928646643   整理番号：18A0973702

BEOL相互接続誘電体のための高速TDDBモニタリング【JST・京大機械翻訳】

Fast TDDB monitoring for BEOL interconnect dielectrics

著者 (5件)： LaRow C. (GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stonebreak Road Extension, Malta, NY, 12020, USA) ,  Chbili Z. (GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stonebreak Road Extension, Malta, NY, 12020, USA) ,  Yap S. F. (GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stonebreak Road Extension, Malta, NY, 12020, USA) ,  Kerber A. (GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stonebreak Road Extension, Malta, NY, 12020, USA) ,  Nigam T. (GLOBALFOUNDRIES Inc., 400 Stonebreak Road Extension, Malta, NY, 12020, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IIRW  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,FEOLとBEOL TDDB試験をカバーする広い電圧範囲に,高速TDDB方法論を拡張するための簡単な実験装置を提示した。新しい装置は,標準(SMU)と高速測定装置(FMU)を差動モードで組合せて,応力電圧範囲を拡大し,一方,数十マイクロ秒で故障時間を収集する。新しい装置を用いて,時間の10桁以上にわたる故障を収集するBEOL構造に関するTDDBを実行した。この新しい装置を用いて,TDDB適合モデル間の差を試験時間の2週間以内に識別できた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 故障 ,  電圧 ,  *高速度 ,  *誘電体 ,  *相互接続 ,  計測器 ,  モデル
準シソーラス用語： マイクロ秒 ,  差動モード ,  FEOL ,  *TDDB ,  *BEOL , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： BEOL ,  相互接続 ,  誘電体 ,  TDDB ,  モニタリング