文献

J-GLOBAL ID：201802243051622505   整理番号：18A1241160

新機能性材料およびデバイス開発でのミニマルファブによるアプローチ

Approach to New Functional Materials and Device Development by Minimal Fab System [2]

著者 (4件)： 伊勢和幸 (秋田県産技セ) ,  菅原靖 (秋田県産技セ) ,  関根崇 (秋田県産技セ) ,  杉山重彰 (秋田県産技セ)
資料名： 秋田県産業技術センター業務年報  (Annual Report of Akita Industrial Technology Center)
巻： 2017  ページ： 106-109  発行年： 2017年 
JST資料番号： Z0354A  ISSN： 0914-4420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究テーマは,国立研究開発法人・産業技術総合研究所(以後,産総研の略称を使用)が,提案・開発した超小型デバイス生産システム“ミニマルファブ”に着目し,当センターのコア技術である機能性材料を活用することで,県内企業がこれからの多品種少量生産のものづくりに取り組むに際しての,新たな支援体制の構築を目的とするものである。ここでは,実用域に達したミニマルファブを調査して得られた,ミニマルファブの概要,装置やデバイスの開発状況,さらには,想定される県内産業への波及効果について記す。(著者抄録)

シソーラス用語： *機能材料 ,  半導体プロセス ,  *多種少量生産 ,  製造 ,  MOSFET ,  MEMS ,  固体素子
準シソーラス用語： マイクロデバイス ,  *ミニマルファブ ,  新機能材料 ,  多品種少量生産 ,  物作り

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生産形態  (KB03020E)

引用文献 (2件)：

• 原史郎 他,: ′′ミニマルファブシステムの構想と実現に向けて′′, 精密工学会誌, 77(3)249 (2011)
• クンプアン・ソマワン 他: ′′ミニマルファブを用いたマイクロニードルアレイの構造試作′′, 第64回応用物理学会春季学術講演会, 16a-E206-8 (2017)

タイトルに関連する用語 (3件)： 機能性材料 ,  開発 ,  ミニマルファブ