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J-GLOBAL ID：201802243395908539   整理番号：18A1806635

剥離MOS_2電界効果トランジスタの電気的性能を高めるための電熱アニーリング【JST・京大機械翻訳】

Electrothermal Annealing to Enhance the Electrical Performance of an Exfoliated MoS₂ Field-Effect Transistor

著者 (9件)： Han Joon-Kyu (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Park Jun-Young (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Kim Choong-Ki (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Kwon Jeong Hyun (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Kim Myeong-Soo (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Hwang Byeong-Woon (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Kim Da-Jin (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Choi Kyung Cheol (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea) ,  Choi Yang-Kyu (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 39  号： 10  ページ： 1532-1535  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 剥離したMoS_2電界効果トランジスタ(FET)のON状態電流(I_ON)を改善するために電熱アニーリング(ETA)を適用した。ETAは,装置のソースとドレインを通して流れる電流によって発生する局所化Joule熱を使用する。MoS_2チャネルとMoS_2-金属接合の両方におけるプロセス誘起汚染物質は減少した。移動度と寄生抵抗の抽出を含む電気的特性化を行い,アニーリング効果を解析した。また,MoS_2フレークが剥離ベースのMoS_2 FETにおいて多様なサイズと非対称形状を有するので,ETAプロセスを最適化するためのパラメータに関する洞察を提供するために,数値的熱シミュレーションを実行した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気的性質 ,  フレーク ,  汚染物質 ,  電流 ,  *電気加熱 ,  非対称性 ,  最適化 ,  *FET【トランジスタ】 ,  *焼なまし ,  移動度
準シソーラス用語： アニーリング効果 ,  寄生抵抗 ,  Joule熱 ,  局在化 ,  オン状態 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電界効果トランジスタ ,  電熱 ,  アニーリング