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J-GLOBAL ID:201802243597997776   整理番号:18A0231959

熱CVDによるg-C3N4の作製と機械的特性評価

Mechanical property of g-C3N4 prepared by thermal CVD
著者 (2件):
資料名:
巻: 63  号:ページ: 22-27  発行年: 2018年01月15日 
JST資料番号: S0909A  ISSN: 0285-2470  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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・メラミンを原料,水素をキャリアガスとして用いて熱CVDによるg-C3N4の作製に及ぼす水素ガス添加の影響およびその機械的特性評価について検討。
・水素の使用により成膜速度が上昇しg-C3N4の結晶化,s-トリアジン構造の形成およびg-C3N4膜形成が促進されることを解明。
・g-C3N4膜が2Gpa程度の硬度を有し,その摩擦係数はSUJ2,Si3N4,Al2O3の相手材に対して0.35,0.10,0.37程度であることが判明。
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分類 (2件):
分類
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固体の機械的性質一般  ,  窒素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (3件):
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