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J-GLOBAL ID:201802243601677727   整理番号:18A1261015

多結晶YAGセラミック研磨のナノメートル規模特性【JST・京大機械翻訳】

Nanometer-scale characteristics of polycrystalline YAG ceramic polishing
著者 (2件):
資料名:
巻: 67  号:ページ: 349-352  発行年: 2018年 
JST資料番号: E0026A  ISSN: 0007-8506  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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レーザ利得媒体として使用される多結晶イットリウムアルミニウムガーネット(YAG)セラミックは,光散乱を最小化するためにナノメートルスケールの表面形状を必要とする。一般的に,結晶粒間の不均一な材料除去と結晶粒界での過剰な材料除去はセラミック表面の平滑化を遅らせる。本論文では,研磨中のターゲット表面に対する工具接触に及ぼす機械的性質と研磨工具構造の影響について述べた。これは研磨剤の種類とサイズに加えて,研磨特性,特に結晶粒界での材料除去,結晶粒の強化,結晶粒の転位,および研磨表面のナノメートルスケールの幾何学的形状に影響を及ぼす。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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