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J-GLOBAL ID:201802243871900984   整理番号:18A0125612

ゲルマニウム単結晶の抵抗Czochralski成長中の熱伝達,熱応力と転位密度の数値解析【Powered by NICT】

Computational analysis of heat transfer, thermal stress and dislocation density during resistively Czochralski growth of germanium single crystal
著者 (4件):
資料名:
巻: 483  ページ: 125-133  発行年: 2018年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,IR光学用Ge単結晶を成長させるために用いたCzochralski装置のための流体流,温度勾配,熱応力と転位密度の数値シミュレーションのセットは,成長過程の種々の段階のために行った。全ての計算に適用した二次元定常状態有限要素法。得られた数値結果は,温度場,熱応力と転位構造は主に成長系における結晶高さ,熱放射とガス流に依存していることを明らかにした。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 

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