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J-GLOBAL ID：201802243942019972   整理番号：18A0000126

CBD法によって堆積したZnOナノロッドアレイの光学及び構造特性に及ぼすシード層の影響

The effect of seed layer on optical and structural characteristics of ZnO nanorod arrays deposited by CBD method

著者 (4件)： AZAD Parisa Fallah (Materials and Energy Res. Center, Karaj, IRN) ,  NADERI Nima (Materials and Energy Res. Center, Karaj, IRN) ,  ESHRAGHI Mohamad Javad (Materials and Energy Res. Center, Karaj, IRN) ,  MASSOUDI Abouzar (Materials and Energy Res. Center, Karaj, IRN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 20  ページ： 15495-15499  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学浴堆積技術(CBD)によって,ZnOナノロッドをp形シリコン上に形成したシード層上に成長した。ZnOナノロッドの反射率は,広い波長範囲にわたって,研磨シリコンより低い。ZnOナノロッドの構造及びモフォロジー特性を研究した。X線回折(XRD)及び電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)の結果から,六方晶ウルツ鉱構造を持つZnOナノロッドアレイは,シリコン上に緻密かつ垂直に成長することが実証される。フォトルミネセンス(PL)スペクトルから,紫外(UV)発光に関係する鋭いピークと固有欠陥に関係する幅広い緑色発光が分った。その結果,ZnOシード層は,ZnOナノロッドの核形成を容易にし,合成するZnOナノロッドの均一性を向上させることが分った。

シソーラス用語： ナノロッド ,  *酸化亜鉛 ,  アレイ ,  *光学的性質 ,  *構造特性 ,  下層 ,  薄膜成長 ,  堆積 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  原子間力顕微鏡 ,  光ルミネセンス ,  反射率 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  六方晶系 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  核形成 ,  均一性
準シソーラス用語： ZnOナノロッド ,  シード層 ,  化学浴堆積 ,  光学特性 ,  表面モルフォロジー

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： CBD ,  堆積 ,  ZnOナノロッド ,  アレイ ,  光学 ,  構造特性 ,  シード層