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J-GLOBAL ID：201802244868333058   整理番号：18A1902274

位置決めシステム用カメラの熱セットポイント制御【JST・京大機械翻訳】

Thermal Set-point Control of Camera for Positioning System

著者 (1件)： Ahmad Ziauddin (Kulicke and Soffa Industries, Inc., 1005 Virginia Drive, Fort Washington, PA, 19034, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： SoutheastCon  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ボンディングのためのウエハ上のデバイス配置を支援し,熱成長制約を満たす精密カメラの熱設定点制御を考察した。カメラ熱システムは,分離された第一次のプラス時間遅れ(FOPTD)サブシステムによって近似される。PID制御装置は,コンピュータ最適化を通して設計され,さらにアクティブ擾乱排除制御装置(ADRC)を用いて強化される。ADRCの追加により,分離プラントの仮定により適切な制御動作を示し,外乱排除を改善することを示す設定点制御結果を提供した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラント ,  制御動作 ,  最適化 ,  コンピュータ ,  *カメラ ,  制御装置
準シソーラス用語： 擾乱排除 ,  PID制御 ,  サブシステム ,  時間遅れ ,  目標値 ,  位置決めシステム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 位置決めシステム ,  ポイント