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J-GLOBAL ID:201802245045009938   整理番号:18A0407090

3軸,超高感度,小型加速度センサ【Powered by NICT】

3-Axis, Ultrahigh-Sensitivity, Miniature Acceleration Sensor
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 244-250  発行年: 2018年 
JST資料番号: W0590B  ISSN: 2156-3950  CODEN: ITCPC8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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本論文では,非常に高い感度を有する小型3軸加速度センサを紹介した。センサは可変容量型である。しかし,従来の可変コンデンサ配置を用いる代わりに,センサは可変ウルトラキャパシタ(スーパーキャパシタ)に基づいている。電解質の非常に小さな液滴は,立方体の形で配列した六つの電極間に位置づけられている。電極の内部表面は,カーボンナノチューブ(CNT)で被覆した,六電極のすべての二パラメータ間に存在する可変ウルトラキャパシタ。加速度は電解質液滴を異なる方向に移動し,異なる形状を取るためには,それによりデバイスの任意の二つの与えられた電極間の静電容量を変化させる。本論文で記述したプロトタイプは0から100gへの加速増加の下で7.5μFの電極間静電容量変化を示した。感度は75nF/g。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  プリント回路 
タイトルに関連する用語 (3件):
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