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J-GLOBAL ID:201802245922287870   整理番号:18A1043728

高温パッケージング用厚膜の機械的信頼性【JST・京大機械翻訳】

Mechanical Reliability of Thick Films for High-Temperature Packaging
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 1003-1013  発行年: 2018年 
JST資料番号: W0590B  ISSN: 2156-3950  CODEN: ITCPC8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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高温エレクトロニクスは,ガスおよび石油探査において300°Cで確実に作動し,地熱エネルギー応用のために坑井掘削を行うために必要である。SiCとGaNデバイスの進歩はこれらの応用を可能にした。信頼できる相互接続材料と技術は,高温パッケージングにおける機能回路を構築するために必要である。本論文では,2つの厚膜導体(PtPdAuとAu)の機械的信頼性とバイアスを持つ300°Cでの2つの誘電体を調べた。試験車両(TV)を,コンデンサとして厚膜を用いて作製し,100Vバイアスで300°Cで時効した。PtPdAuと薄い誘電体で作製したTVsについては,上部電極に印加した正のバイアス電圧で100時間のエージング後に接着劣化が最初に観察された。接着は,車両が底部電極に印加された正のバイアス電圧でエージングされたとき,比較的一定に留まった。PtPdAuにおける誘電厚さの増加またはBi濃度の減少は,100から500hへの最初の観察された接着劣化を示した。交互極性によるエージングはまた接着劣化をもたらした。全ての試験で,Biを含まない厚膜Auでは接着劣化は観察されなかった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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