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J-GLOBAL ID:201802245936863917   整理番号:18A0129847

CrN/TiN超格子の破壊靭性に及ぼす焼なましの影響【Powered by NICT】

Annealing effect on the fracture toughness of CrN/TiN superlattices
著者 (8件):
資料名:
巻: 71  ページ: 352-356  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0059B  ISSN: 0263-4368  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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超格子膜は一般的にそれらのモノリシック成分と比較して例外的に高い硬さで知られている。最近,著者等はCrN/TiN超格子膜は,6.0nmの二層周期の破壊靭性のピークを示し,硬度の以前報告されたピークと類似していることを示した。はこのような良好な材料特性を得るための支配的な因子は,個々の層の間の界面構成であることを提案した。この概念を証明するために,意図的に種々の温度での試料の堆積後真空アニーリングによる界面鮮鋭度を改良した。これはその隣接層へのTiまたはCrの相互拡散を促進し,徐々に中間相(TiNおよびCrNは固溶体を形成するため)に界面を変化させる。アニーリング温度の関数として信頼できるK_IC破壊靭性値を得るために,ex-situ真空アニールした自立膜上でのin-situマイクロメカニカル片持梁曲げ試験を行った。高温負荷は,乾式切削や高速切削のような機械加工プロセス中にも起こり,このように高い実際的な関連性。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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金属材料へのセラミック被覆  ,  機械的性質 
タイトルに関連する用語 (4件):
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