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J-GLOBAL ID：201802246132552961   整理番号：18A0466542

コポリイミド/金マイクロパターン化構造の形態学的および局所機械的性質に及ぼす酸素プラズマ処理と金スパッタリングの効果【Powered by NICT】

Effect of oxygen plasma treatment and gold sputtering on morphological and local mechanical properties of copolyimide/gold micropatterned structures

著者 (5件)： Stoica Iuliana (Department of Polymer Materials Physics, “Petru Poni” Institute of Macromolecular Chemistry, 700487, Iasi, Romania) ,  Stoica Iuliana (Department of Bioresources and Polymer Science, Faculty of Applied Chemistry and Materials Science, University Politehnica of Bucharest, 011061, Bucharest, Romania) ,  Aflori Magdalena (Department of Polymer Materials Physics, “Petru Poni” Institute of Macromolecular Chemistry, 700487, Iasi, Romania) ,  Ioanid Emil Ghiocel (Department of Polymer Materials Physics, “Petru Poni” Institute of Macromolecular Chemistry, 700487, Iasi, Romania) ,  Hulubei Camelia (Department of Polycondensation and Thermostable Polymers, “Petru Poni” Institute of Macromolecular Chemistry, 700487, Iasi, Romania)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 50  号： 2  ページ： 154-162  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(A FM)は,酸素プラズマ処理による脂環式配列膜表面を含むコポリイミドに誘起された異なる機能を持つ長方形三次元パターン化された微細構造を分析した。プラズマ出力は,コポリイミド表面へのプラズマ種を加速するために十分な大きさであることであった,曝露時間はA FMによりモニターすることができ,粗さを生成するために非常に小さいなかった。長方形パターンを生成するために,透過型電子顕微鏡グリッドマスクは,処理前の試料上に置いた。交互親水性および疎水性表面化学をもつプラズマ誘起マイクロパターニングは金被覆A FMチップとコポリイミド表面間の接着力を測定することにより評価した。明確に定義された領域に配置された三次元金属微細構造を作製するために,薄い金属層は,これらの前処理したコポリイミド膜上にスパッタした。得られた金属構造のA FM形態学的側面はプラズマ処理条件により誘起された表面変化と相関があった。機能的指標および機能的体積パラメータは表面の機能的挙動を特性化するために計算した,摩耗,潤滑,および接触である。A FMデータは,小角X線散乱測定を用いて得られたものと比較した。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 親水性 ,  脂環式化合物 ,  *パターン形成 ,  *金 ,  *モルフォロジー ,  原子間力顕微鏡 ,  接着 ,  *プラズマ ,  付着力 ,  キャラクタリゼーション ,  疎水性 ,  三次元 ,  微細構造 ,  *プラズマ処理
準シソーラス用語： *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 接着 ,  A FM解析 ,  金スパッタリング ,  酸素プラズマ ,  矩形パターン ,  SAXS解析

分類 (1件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L)

タイトルに関連する用語 (7件)： コポリイミド ,  金 ,  マイクロパターン ,  形態学 ,  機械的性質 ,  酸素プラズマ ,  スパッタリング