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J-GLOBAL ID：201802246161190753   整理番号：18A1351876

リン拡散ゲッタリングを用いたmulticrystallineシリコンウエハおよびPERC太陽電池における光および高温誘起劣化の緩和【JST・京大機械翻訳】

Mitigating Light and Elevated Temperature Induced Degradation in Multicrystalline Silicon Wafers and PERC Solar Cells Using Phosphorus Diffusion Gettering

著者 (8件)： Chakraborty Sagnik (NUS Graduate School for Integrative Sciences and Engineering, National University of Singapore, Singapore 117576, Singapore) ,  Chakraborty Sagnik (Solar Energy Research Institute of Singapore, National University of Singapore, Singapore 117574, Singapore) ,  Huang Ying (Solar Energy Research Institute of Singapore, National University of Singapore, Singapore 117574, Singapore) ,  Wilson Marshall (Semilab USA LLC, Tampa, FL 33617, USA) ,  Aberle Armin G. (NUS Graduate School for Integrative Sciences and Engineering, National University of Singapore, Singapore 117576, Singapore) ,  Aberle Armin G. (Solar Energy Research Institute of Singapore, National University of Singapore, Singapore 117574, Singapore) ,  Aberle Armin G. (Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore 117583, Singapore) ,  Li Joel B. (Solar Energy Research Institute of Singapore, National University of Singapore, Singapore 117574, Singapore)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 215  号： 13  ページ： e1800160  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光および高温誘起劣化(LeTID)の低減は,高性能多結晶シリコン(マルチSi)ウエハ上に作製されたPERC(不動態化エミッタおよび後部セル)太陽電池の工業的成功にとって重要である。分解速度論の理解に多くの進歩があったが,高温(≒80°C,1太陽)での多重SiウエハにおけるLeTIDの原因となる欠陥(s)はまだ同定されていない。本研究では,多重Siウエハと太陽電池におけるLeTIDを低減するために,リン拡散ゲッタリング(PDG)を用いる可能性を調べた。LeTID前後の多重Siウエハにおける光誘起欠陥濃度を測定することにより,PDGが平均欠陥濃度を実質的に低減できることを観測した。誘導結合プラズマ質量分析を用いた微量元素分析により,インゴットの端部からの多重Siウエハは,隣接結晶粒よりも多くの結晶粒中に高濃度のCu,NiおよびTiを含むことを明らかにした。多重Si PERC太陽電池におけるLeTIDを低減するためのPDGを調べるために,二つの異なるエミッタプロファイルを持つセルを作製した。高いシート抵抗を得るために非常に拡散したエミッタをエッチングすることにより,太陽電池のLeTID性能を改善することができ,ウエハ内の不純物濃度の低減に非常に関連する効果がある。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *高温 ,  *太陽 ,  *太陽電池 ,  チタン ,  不動態化 ,  インゴット ,  多重化 ,  結晶粒 ,  *ゲッタリング ,  ICP-MS分析 ,  シート抵抗 ,  不純物濃度 ,  ポリシリコン
準シソーラス用語： 光誘起 ,  *シリコンウエハ ,  シリコン太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： エミッタエッチバック ,  光誘起劣化 ,  シリコン ,  リン拡散ゲッタリング

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： リン ,  拡散 ,  ゲッタリング ,  シリコンウエハ ,  太陽電池 ,  誘起 ,  緩和