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J-GLOBAL ID：201802246232346441   整理番号：18A0154393

センサ応用のための交差指型微小電極の設計のためのポリ乳酸/グラフェン複合材料のフェムト秒レーザマイクロマシニング【Powered by NICT】

Femtosecond laser micromachining of polylactic acid/graphene composites for designing interdigitated microelectrodes for sensor applications

著者 (11件)： Paula Kelly T. (Instituto de Fisica de Sao Carlos, Universidade de Sao Paulo, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Gaal Gabriel (Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Unicamp, 13083-859 Campinas, SP, Brazil) ,  Almeida G.F.B. (Instituto de Fisica de Sao Carlos, Universidade de Sao Paulo, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Andrade M.B. (Instituto de Fisica de Sao Carlos, Universidade de Sao Paulo, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Facure Murilo H.M. (Nanotechnology National Laboratory for Agriculture (LNNA), Embrapa Instrumentacao, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Facure Murilo H.M. (PPGQ, Department of Chemistry, Center for Exact Sciences and Technology, Federal University of Sao Carlos (UFSCar), 13565-905 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Correa Daniel S. (Nanotechnology National Laboratory for Agriculture (LNNA), Embrapa Instrumentacao, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Correa Daniel S. (PPGQ, Department of Chemistry, Center for Exact Sciences and Technology, Federal University of Sao Carlos (UFSCar), 13565-905 Sao Carlos, SP, Brazil) ,  Riul Antonio (Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Unicamp, 13083-859 Campinas, SP, Brazil) ,  Rodrigues Varlei (Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Unicamp, 13083-859 Campinas, SP, Brazil) ,  Mendonca Cleber R. (Instituto de Fisica de Sao Carlos, Universidade de Sao Paulo, 13560-970 Sao Carlos, SP, Brazil)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 101  ページ： 74-79  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェン系材料の電子的応用とパターン形成技術から作製したデバイスに向けて近年関心が高まっている,高性能と時間分解能の究極の目標であった。吸収の効率的非線形性によるサブミクロン空間分解能で焦点体積の変化を可能にし,革新的な応用のためのラピッドプロトタイピングをとしてフェムト秒パルスを用いたレーザマイクロマシニングは,グラフェン系材料を統合する機能デバイスへの魅力的な方法である。は5μmの最小空間分解能を有する交差指電極を作製するためにここで中程度のパルスエネルギーでのフェムト秒レーザを用いてガラス基板上にスピンコートしたPLAグラフェン膜のパターニングを示した。PLAグラフェン膜のRaman分光法は,多層グラフェン繊維の存在を示した。続いて,PLAグラフェン膜は,50fsパルスと800nmを供給するフェムト秒レーザ発振器を用いた微細加工した,パルスエネルギーと走査速度は,微細構造の作製に最適な照射パラメータ(16nJと100μm/s)を決定するために変化させた。微細加工したパターンを光学顕微鏡で特性化し,液体試料中の電気的測定に,試験した全ての味を識別した。著者らの結果は,高精度と最小機械的欠陥を持つPLAグラフェンフィラメントをパターン化する効率的に興味深いアプローチとしてフェムト秒レーザマイクロマシニング技術を確認し,交差指形構造の容易な製作と通常のフォトリソグラフィーにより生成したものと代替法を可能にした。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  フォトリソグラフィー ,  微細構造 ,  スピンコーティング ,  *グラフェン ,  光学顕微鏡 ,  空間分解能 ,  パターン形成 ,  *複合材料 ,  *フェムト秒 ,  パルス ,  非線形性 ,  *マイクロマシニング ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *レーザーマイクロマシニング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： フェムト秒レーザ ,  マイクロマシニング ,  PLAグラフェン ,  複合材料 ,  電気的性質

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (10件)： 応用 ,  交差 ,  指 ,  微小電極 ,  設計 ,  ポリ乳酸 ,  グラフェン ,  複合材料 ,  フェムト秒レーザ ,  マイクロマシニング