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J-GLOBAL ID：201802246415741980   整理番号：18A0534989

多結晶SrTiO_3薄膜における誘電同調性の機械的歪エンジニアリング【Powered by NICT】

Mechanical strain engineering of dielectric tunability in polycrystalline SrTiO₃ thin films

著者 (4件)： Tkach Alexander (CICECO - Aveiro Institute of Materials, Department of Materials and Ceramic Engineering, University of Aveiro, Aveiro, 3810-193, Portugal. [e-mail]) ,  Okhay Olena ,  Reaney Ian M. ,  Vilarinho Paula Maria
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 6  号： 10  ページ： 2467-2475  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機能性酸化物薄膜は商業化を達成しようとするなら,低コストスケーラブル処理と基板を用いた性能最適化が重要である。SrTiO_3(ST)薄膜の構造,微細構造及び電気的性質の低コストAl_2O_3,SrTiO_3,とMgO基板の役割,ゾル-ゲル法により堆積したの包括的研究を提示した。多結晶ST膜の誘電特性は基板によって誘起される歪み/応力に依存することを示した。高引張応力下でAl_2O_3/Pt基板上に堆積したST膜は最小の粒径を有し,比誘電率,ε_rの最低値を示す最低の誘電可同調性を有する。対照的に,最高の圧縮応力下で,MgO/Pt基板上に堆積したST膜はε_r,同調性と分極の最大値を有していた。多結晶ST膜の相対誘電率と誘電可同調性は,誘起された圧縮応力状態により最適化できることを示した。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 白金 ,  最適化 ,  粒径 ,  引張応力 ,  分極 ,  酸化マグネシウム ,  *多結晶 ,  *同時性 ,  誘電率 ,  誘電性 ,  圧縮応力 ,  *薄膜 ,  微細構造
準シソーラス用語： チューナビリティ ,  酸化物薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多結晶 ,  薄膜 ,  同調性 ,  機械的歪 ,  エンジニアリング