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J-GLOBAL ID：201802246622761352   整理番号：18A0968241

高分解能で大きなダイナミックレンジに向けたマイクロ加工共振電位計の感度操作【JST・京大機械翻訳】

Sensitivity manipulation on micro-machined resonant electrometer toward high resolution and large dynamic range

著者 (5件)： Chen Dongyang (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Zhao Jiuxuan (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Wang Yong (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Xu Zhonggui (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Xie Jin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou 310027, People’s Republic of China)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 112  号： 1  ページ： 013502-013502-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機械的共振器とアクチュエータに基づく高分解能と広いダイナミックレンジを実現するために,感度操作の方式を有するマイクロ共鳴電位計を提案した。キーセンシング素子として,二重端同調フォーク共振器は,10000に近い品質因子と0.5MΩ以下の低い運動抵抗を持つ。共振器の電気的および機械的非線形特性を調べた。軸歪変調方式に基づく電荷センシング機能を,0.46ppmの周波数変動下で2.6fCの高分解能で較正した。操作により,感度は二次から線形化され,さらに減少して,ダイナミックレンジを最大12.38pCまで358.47%まで広げた。一方,周波数変動も70mHzの下で安定化し,センサの短期安定性を強化した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アクチュエータ ,  *電位計 ,  同調 ,  *マイクロマシニング ,  フォーク ,  電荷 ,  *ダイナミックレンジ ,  周波数変動 ,  共振器 ,  *高分解能 ,  センサ ,  *共振
準シソーラス用語： 線形化 ,  軸歪 ,  品質因子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高分解能 ,  ダイナミックレンジ ,  マイクロ加工 ,  共振 ,  電位計 ,  感度