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J-GLOBAL ID：201802246697773922   整理番号：18A1680630

集積導波路による窒化ケイ素光機械発振器の周波数雑音【JST・京大機械翻訳】

Frequency Noise of Silicon Nitride Optomechanical Oscillators with Integrated Waveguides

著者 (12件)： Grine Alejandro (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Serkland Darwin (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Wood Michael (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Soudachanh Amy (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Hollowell Andrew (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Koch Lawrence (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Hains Christopher (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Siddiqui Aleem (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Eichenfield Matt (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Dagel Daryl (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Grossetete Grant (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA) ,  Matins Benjamin (Sandia National Laboratories, Albuquerque, NM, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： OMN  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積結合導波路に隣接する平面過程で作製した窒化けい素空洞光機械発振器を実証した。機械的振動周波数のAllan偏差を空気中の自由空間光学装置を用いて特性化した。このデバイスは,130msの平均時間と2x10~-8/τ~1/2の分数短期不安定性において,78の部品の周波数不安定性を示した。作製プロセスの利点は,全ステッパリソグラフィー,平面トポロジー,ウエハスケールの湿式放出,および220μmの深いドライエッチングによって形成された導波路ファセットを含んでいる。空気中の58MHzにおける光学Q>2百万及び機械Q=1450を初期試料において得た。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ステッパ ,  機械振動 ,  リソグラフィー ,  ファセット ,  不安定性 ,  *窒化ケイ素 ,  位相幾何学 ,  *発振器 ,  *周波数 ,  キャラクタリゼーション ,  ドライエッチング ,  *導波路
準シソーラス用語： 自由空間光学 ,  Allan分散 ,  *周波数雑音 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 音声処理  (JE05000E) ,  符号理論  (ND02030R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積 ,  導波路 ,  窒化ケイ素 ,  発振器 ,  周波数雑音