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J-GLOBAL ID：201802246716046957   整理番号：18A1426443

高性能で非拘束の同軸回転を持つ新しいPZTベース進行波マイクロモータ【JST・京大機械翻訳】

A Novel PZT-Based Traveling-Wave Micromotor With High Performance and Unconstrained Coaxial Rotation

著者 (6件)： Qin Feng (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China) ,  Dai Gang (Microsystem and Terahertz Research Center, China Academy of Engineering Physics, Chengdu, China) ,  Sun Xiangyu (Microsystem and Terahertz Research Center, China Academy of Engineering Physics, Chengdu, China) ,  Xu Qinyin (Nanjing Engineering Research Center of Micro-Nano Technology, Nanjing, China) ,  Du Yijia (Microsystem and Terahertz Research Center, China Academy of Engineering Physics, Chengdu, China) ,  Bao Jingfu (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 4  ページ： 635-642  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 進行波超音波マイクロモータは,マイクロアクチュエーションとナノ位置決めのための有望な技術である。特別に設計した環状固定子を,高性能を達成するために,2つの分離バッファ構造の組合せを用いて提案した。移動するアンチノードによる進行波伝搬を観察し,解析した。作製した固定子は,101.6kHzの中心周波数で,1Vで4.71μmの大きな変位と220の高品質因子を示した。組み立てた回転子を作動させ,制御可能な回転速度を達成した。測定した最大トルクは1.3Vと101kHzで2.63μNmに達した。また,全回転過程で横方向滑りのない非拘束回転が見られ,マイクロモータの安定で均一で信頼性の高い作動を示した[2018-0026]。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 回転数 ,  超音波 ,  信頼性 ,  固定子 ,  *マイクロモータ ,  *進行波 ,  回転子 ,  トルク
準シソーラス用語： 束縛回転 ,  品質因子 ,  中心周波数 ,  環状 ,  軸回転 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電動機  (NB07030U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 拘束 ,  軸回転 ,  PZT ,  進行波 ,  マイクロモータ