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J-GLOBAL ID：201802246941434281   整理番号：18A0362554

有機材料薄膜形成における蒸着速度と膜厚分布の関係

Relationship between evaporation rate and thickness distribution under organic thin film preparation

著者 (6件)： 久保田暁 (静岡大 大学院総合科学技術研究科) ,  小南裕子 (静岡大 大学院総合科学技術研究科) ,  原和彦 (静岡大 電子工研) ,  中西洋一郎 (静岡大 電子工研) ,  松本鐘三 (エイエルエステクノロジー) ,  青島洋一 (エイエルエステクノロジー)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 411(EID2017 30-43)  ページ： 9-12  発行年： 2018年01月18日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,有機ELデバイスは主に真空蒸着法によって作製されているが,大面積の基板に製膜を行う場合,装置が大型化,高電力化が生じる。この問題を解決するため,小型で省スペース,低電力,安定性の高い有機薄膜形成用新規小型石英セルの開発を目指している。今回はこの石英セルの膜厚分布特性,および蒸着速度の制御性についての検討を行った。その結果,石英セルの膜厚分布はLambertの余弦則に概ね従うことがわかった。また,基板近傍の膜厚モニターを必要としない蒸着速度制御の可能性を見出した。(著者抄録)

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  *有機材料 ,  堆積速度 ,  分布 ,  薄膜成長 ,  真空蒸着
準シソーラス用語： 蒸着速度 ,  膜厚分布 ,  *有機ELデバイス ,  *有機薄膜

分類 (2件)： 発光素子  (NC03082G) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (1件)：

• Sangmin Lee, and Ching W. Tang, ′′Fabrication of a blue organic light-emitting diode with a novel thermal deposition boat′′, American Vacuum Society, volume 2011.

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機材料 ,  薄膜形成 ,  蒸着速度 ,  膜厚分布