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J-GLOBAL ID：201802247366008017   整理番号：18A1314866

高周波性結合プラズマ放電特性のスペクトル診断【JST・京大機械翻訳】

Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma

著者 (8件)： Liu Chong (河海大学理学院,江蘇 南京,210098) ,  He Xiang (河海大学理学院,江蘇 南京,210098) ,  Zhang Yachun (南京理工大学理学院,江蘇 南京,210094) ,  Chen Jianping (北京航空工程技術研究中心,北京,100076) ,  Chen Yudong (北京航空工程技術研究中心,北京,100076) ,  Ceng Xiaojun (北京航空工程技術研究中心,北京,100076) ,  Chen Bingyan (河海大学理学院,江蘇 南京,210098) ,  Zhu Weihua (河海大学理学院,江蘇 南京,210098)
資料名： Guangpuxue yu Guangpu Fenxi  (Guangpuxue yu Guangpu Fenxi)
巻： 38  号： 4  ページ： 1007-1013  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2093A  ISSN： 1000-0593  CODEN： GYGFED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 流体モデルシミュレーションと発光スペクトル実験診断法を利用して、中気圧、中パワーの高周波性結合プラズマの放電特性を研究した。流体モデルに基づくCOMSOLソフトウェアを用いて,一次元プラズマ放電モデルを構築し,Arガスを作動ガスとして用いた。実験的に,同じサイズの密閉ガラス空洞と平板電極を,シミュレーションモデルに基づいて設計し,13.56MHzのRF放電技術を使用して,作動ガスArガスを放電した。適切なArIとArIIの特性スペクトルの分析および選択により,プラズマの電子温度と電子密度を,それぞれ,ボルツマン勾配法とSha-Boltzmann方程式を用いて計算した。その結果;300400Paのガス圧と600800Wの入力パワーで,プラズマはボルツマン分布に従った。シミュレーションとスペクトル実験診断の組合せは,プラズマの放電パラメータの初期の診断を可能にする。プラズマ放電でのボルツマン勾配法の利用範囲と,低電子密度性結合プラズマパラメータの診断でのスペクトル法の応用を拡大した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 発光スペクトル ,  ソフトウェア ,  電子密度 ,  *スペクトル ,  *プラズマ ,  *HF【周波数】 ,  一次元 ,  RF放電 ,  ガラス ,  シミュレーション ,  *放電 ,  シミュレーションモデル ,  電子温度 ,  Boltzmann分布 ,  *プラズマ放電

著者キーワード (3件)： Capacitive coupled plasma ,  COMSOL simulation ,  Spectrum diagnosis

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波 ,  プラズマ ,  放電特性 ,  スペクトル ,  診断