発振器型熱式マイクロ・フローセンサ

星野敬亮; Liu Jiannan; 室英夫

文献

J-GLOBAL ID：201802247508447587 整理番号：18A0551560

発振器型熱式マイクロ・フローセンサ

Oscillator-Type Thermal Micro Flow Sensor

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資料名：
巻： 138 号： 3 ページ： 112-116(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

近年,計測システムまたはエレクトロニクスで電子デバイスには小型化および高性能化がますます必要とされている。これらの目標を達成するために,MEMSを使用するセンサおよびアクチュエータが広く研究されている。フローセンサは,そのようなMEMSセンサの一つである。フローセンサとしては,電磁式,フロート式,超音波式,インペラ式,熱式など様々なものがある。これらの中で,熱型は上記の要件を満たす可能性を有し,MEMS技術を用いて製造するのが容易である。これらの背景に基づいて,SOI-MEMS技術を用いた熱式マイクロフローセンサが広く研究されている。著者らは,加速度センサなどの他のセンサと容易に統合できるSOI-MEMS技術を用いた熱式マイクロフローセンサの研究を行った。しかし,常温感応抵抗を含むブリッジ回路システムでの熱応力や経時劣化により感度やオフセットが変動する。本文では,熱伝導の時間遅延を利用して,これらの影響を抑制することを目的とした発振器型熱式マイクロ・フローセンサについて調べた。(翻訳著者抄録)

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流体の実験・試験・測定方法及び装置 , 温度測定,温度計 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (12件)：

(1) A. Kolin : “Approaches to blood-flow measurement by means of electromagnetic catheter flow meters”, <i>IEEE Journals & Magazines</i>, Vol. 6, Issue. 2, pp. 308-314 (1970)
(2) N. Mandal, B. Kumar, G. Rajita, B. Mondal, and Na : “A modified design of a flow transmitter using rotameter as a primary sensor and LVDT as a transducer”, IEEE Conference Publications, pp. 194-198 (2014)
(3) V. Magori : “Ultrasonic sensors in air”, IEEE Conference Publications, Vol. 1, pp. 471-481 (1994)
(4) F. Yang and Y. Wang : “Research of the New Electronic Valve System with Quantitative Control”, IEEE Conference Publications, pp. 274-277 (2012)
(5) K. Kawahata, A. Nakano, and M. Esashi : “Integrated Thermal Mass Flow Controller Using Normally Close Microvalve”, TECHNICAL DIGEST OF THE 8TH SENSOR SYMPOSIUM, pp. 141-144 (1989)

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