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J-GLOBAL ID：201802247681806880   整理番号：18A0426637

パルスレーザ蒸着により作製した多層(DLC TiC)膜の電気的性質【Powered by NICT】

Electrical properties of multilayer (DLC-TiC) films produced by pulsed laser deposition

著者 (6件)： Alawajji Raad A. (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA) ,  Kannarpady Ganesh K. (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA) ,  Nima Zeid A. (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA) ,  Kelly Nigel (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA) ,  Watanabe Fumiya (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA) ,  Biris Alexandru S. (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas at Little Rock 2801 South University Avenue, Little Rock, AR, 72204, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 437  ページ： 429-440  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,パルスレーザ蒸着を多層ダイヤモンド炭素(ML(DLC TiC))薄膜を作製した。ML(DLC TiC)膜は20 450°Cの範囲の種々の基板温度でのSi(100)およびガラス基板上に堆積した。Raman分光法,X線光電子分光法(XPS),および原子間力顕微鏡を用いて,作製した膜を特性化した。Raman分析は,基板温度が増加すると,Gピーク位置はより高いRamanシフトにシフトし,GとDバンドの半値幅が減少することを明らかにした。基板温度が増加したとき,XPS分析はsp~3.~2比の減少とTi-C結合強度の増加を示した。さらに,ML(DLC TiC)の表面粗さは基板のタイプおよび温度の影響を受けfilmswas。電気測定結果は,基板温度が増加するとSiとガラス基板上に堆積したML(DLC TiC)膜の電気抵抗率は同じ挙動の抵抗率は減少したことを示した。さらに,シリコン上に堆積したML(DLC TiC)膜は,より低い電気抵抗率を示した,8.39E,4Ω-cm5.00E,4Ωcmへ低下し,同様に,ガラス基板上の膜は1.8からe2Ω1.2e3Ωcm電気抵抗率の低下を示した。これら向上した電気特性は,ML(DLC TiC)膜は生物学的研究におけるバイオセンサのための変換器としての広範な可能性を有することを示した。電気化学電極,これらの膜は化学的に修飾されるので医薬品ツールのための生体適合性コーティング多かった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  Raman分光法 ,  X線光電子スペクトル ,  電気抵抗率 ,  *電気的性質 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  電気特性 ,  ケイ素 ,  ダイヤモンド ,  バイオセンサ ,  *多層 ,  基板温度 ,  付着強さ ,  X線光電子分光法 ,  電気測定
準シソーラス用語： ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  多層 ,  DLC ,  TiC ,  電気的性質