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J-GLOBAL ID：201802248385752471   整理番号：18A0969447

ポストアニーリングオフ化学量論的マグネトロンスパッタリング多層膜により作製したfepD薄膜の保磁力増強【JST・京大機械翻訳】

Coercivity enhancement of FePd thin films prepared by the post-annealing of off-stoichiometric magnetron-sputtered multilayers

著者 (5件)： Nguyen Duc-Chau (Department of Engineering and System Science, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Chu Chia-Chin (Department of Engineering and System Science, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Lee Chih-Hao (Department of Engineering and System Science, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Lai Wei-Chiao (Institute of Physics, Academia Sinica, Taipei 115, Taiwan) ,  Chang Chia-Seng (Institute of Physics, Academia Sinica, Taipei 115, Taiwan)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 123  号： 7  ページ： 073901-073901-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直磁気記録媒体の実現には,900Oe以上の垂直保磁力の達成とFePd合金薄膜の長距離秩序度の正確な計算が不可欠である。ここでは,マグネトロンスパッタリングによりMgO(001)基板上に堆積した[Fe(2nm)/Pd(2nm)]×30の多層成長により,化学量論FePd膜を調製した。これらの膜を700°Cで1および10時間,それらの表面形態および結晶学的および磁気的特性に及ぼす影響を調べた。結果は,アニーリング時間の増加と共に,FePd薄膜は主に(001)配向し,結晶粒サイズと表面粗さの漸進的増加,ならびに結晶化度の改善と微小歪の減少を伴うことを示した。従って,垂直保磁力は1.5kOeの値まで著しく増加し,Pdは合金化によりその4d電子を失う。さらに,X線吸収データの解析により,支配的な正方晶FePd相に加えて,Fe散乱相のいくつかの構造的詳細を明らかにした。また,拡張X線吸収微細構造分光法と薄膜の化学量論偏差から抽出した正方晶比の組合せ情報を用いて,FePd合金薄膜の長距離秩序パラメータを決定する方法を示した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶粒径 ,  *薄膜 ,  長範囲規則度 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *化学量論 ,  パラジウム ,  *保磁力 ,  鉄 ,  EXAFS ,  *多層膜 ,  正方晶系 ,  *多層 ,  *焼なまし ,  酸化マグネシウム
準シソーラス用語： 合金薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属結晶の磁性  (BM06040T)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタリング ,  多層膜 ,  作製 ,  薄膜 ,  保磁力 ,  増強