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J-GLOBAL ID：201802248737678466   整理番号：18A0992255

FIBを用いた分解能評価試料の作製

著者 (2件)： 入田賢 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  入田賢 (名古屋大 ベンチャービジネスラボラトリー)
資料名： 名古屋大学電子光学研究のあゆみ  (Nagoya University Ayumi(Progress Steps) of the Electron Optics Research)
号： 29  ページ： 70  発行年： 2018年05月20日 
JST資料番号： X0925A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・X線顕微鏡の分解能を評価するため,重金属の微細なパターン加工を施した試料が必要。そのため,集束イオンビーム(FIB)加工機FB-2100により,AuとPtのパターニング加工を実施。
・試料はAuとPtのメッシュを使用。パターンは,ラインアンドスペース構造,周期的な穴が開いた構造,特徴があるスパイラルの構造の加工を実行。加工した試料は走査イオン顕微鏡(SIM)観察を実施。
・AuとPtのメッシュに対して,幅~500nm程度のラインアンドスペースのFIB加工の実施可能と判明。

シソーラス用語： *X線顕微鏡 ,  *分解能 ,  *イオンビーム加工 ,  *集束イオンビーム ,  金 ,  白金 ,  構造 ,  イオン顕微鏡法 ,  パターン形成
準シソーラス用語： FIB【ビーム】 ,  メッシュ構造

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： FIB ,  分解能 ,  評価 ,  試料 ,  作製