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J-GLOBAL ID：201802249859309114   整理番号：18A1999301

金属管内の放電を用いたプラズマ浸漬イオン注入(および堆積)に関する最近の実験【JST・京大機械翻訳】

Recent experiments on plasma immersion ion implantation (and deposition) using discharges inside metal tubes

著者 (6件)： Ueda M. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Silva C. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Silva C. (Associated Laboratory of Sensors and Materials, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Marcondes A.R. (Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil) ,  Reuther H. (HZDR, Rossendorf, Dresden, Germany) ,  de Souza G.B. (State University of Ponta Grossa, Ponta Grossa, PR, Brazil)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 355  ページ： 98-110  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,異なる直径と構成の金属管内の窒素のプラズマ浸漬イオン注入(PIII)を試みた。1.1~16cmφの範囲で20cmの長さのSS304の実用的なサイズの金属管におけるPIII試験を,著者らの研究室における継続的な努力として実施し,管内のPIIIを調査した。一つの側面または両側の金属蓋を含む位置と形状を敷設する管を用いて,管口から10cm離れた平面試料支持体と,管を流れるプラズマを利用して,バイアスなしで平面試料支持体を用いた。特に,チューブ内壁スパッタリングと堆積研究のために,窒素とアルゴンPIIIsを試験し,チューブから分離した試料支持体の最後の構成においてPIIIシステムを実行した。窒素イオン注入中に,チューブの最終温度とプラズマターンオン電圧は,試験した最小チューブを除いて,チューブの寸法に逆比例することが分かった。高電圧グロー放電と中空陰極放電は,パルス中または独立に管内で生成された。これは,チューブの形状と使用されたパルサ(LIITS,電流制御ソースまたはRUP-4,電圧制御されたもの)に依存する。1.1cmφの最小直径の場合に,SS304の懸垂管を,1.2kWの最大能力近くで,低電力パルサ(RUP-4)を用いて試験した。また,この場合,非常に明るいプラズマが形成され,主に管内にあり,高温(~700°C)をもたらした。窒素取込は,イオン注入と熱拡散を組み合わせた高温PIII処理(>700°C)に対して優れており,直径≦4cmの管内のTi合金試料上にTiNとTi_2Nの形成を可能にした。本論文では,多様な管と構成による上記引用PIII試験の結果の詳細な考察を示し,管から離れた支持体の内側,外側,および支持体の対応する処理表面の解析を行った。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  チタン合金 ,  *イオン注入 ,  グロー放電 ,  バイアス ,  高温 ,  スパッタリング ,  懸垂 ,  形態 ,  パルス ,  窒素 ,  パルサー ,  ホロー陰極放電 ,  *金属管
準シソーラス用語： 窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： プラズマ浸漬イオン注入 ,  金属管内のスパッタリングと堆積 ,  異なる次元と形状を持つチューブ ,  高温PIIIにおけるスズとTi_2N

分類 (1件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 金属管 ,  放電 ,  プラズマ浸漬イオン注入 ,  堆積 ,  実験