文献

J-GLOBAL ID：201802250323898356   整理番号：18A0959716

種々の金属で被覆した参照板による広視野の新しい単一ショット干渉法【JST・京大機械翻訳】

A novel single shot interferometry with a wide field of view by reference plates coated with various metals

著者 (3件)： Ohara Yuta (Niigata University, Department of Mechanical Engineering, 8050 Ikarashi-2-nocho, Nishi-ku, Niigata-shi, Niigata, 950-2181, Japan) ,  Tsukiyama Yosuke (Niigata University, Department of Mechanical Engineering, 8050 Ikarashi-2-nocho, Nishi-ku, Niigata-shi, Niigata, 950-2181, Japan) ,  Nitta Isami (Niigata University, Department of Mechanical Engineering, 8050 Ikarashi-2-nocho, Nishi-ku, Niigata-shi, Niigata, 950-2181, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 52  ページ： 345-355  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 以前の研究で開発された広視野のレーザ顕微鏡は,非常に短時間で円筒の全表面を観察することを可能にした。この研究では,深さ方向のレーザ顕微鏡の分解能を犠牲にして広視野を得た。この欠点を克服し,種々の物体の三次元プロファイルのナノレベル測定を達成するために,二ビーム干渉法を広視野レーザ顕微鏡に導入した。高コントラスト干渉縞パターンを達成するために,ガラス参照板を薄いCr膜または他の純粋金属で被覆した。干渉縞パターンは正弦波から鋸歯状波形に歪んだ。干渉縞パターンの歪は測定した試料表面の傾斜に対応するように見えた。このことは,位相シフト法を用いることなく干渉縞パターンの一つの画像のみから表面プロフィルを決定できる新しい単一ショット干渉法を実現する可能性を示している。強度分布の歪のタイプは各金属で異なった。Fourier変換解析と電磁アプローチの両方から,干渉縞の強度分布が鋸歯状パターンに変化する機構を論じた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉縞 ,  三次元 ,  ガラス ,  正弦波 ,  位相シフト ,  円筒 ,  純金属 ,  *粒状材 ,  クロム ,  *干渉測定 ,  分解能 ,  Fourier変換
準シソーラス用語： 強度分布 ,  レーザ顕微鏡 ,  *広視野 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： レーザ干渉法 ,  金属被覆参照板 ,  広視野 ,  鋸歯状

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 参照 ,  広視野 ,  ショット ,  干渉法