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J-GLOBAL ID:201802250741920253   整理番号:18A1407549

金と白金ナノワイヤ不活性ガス雰囲気における連結部位の変形過程と熱的安定性【JST・京大機械翻訳】

Investigation on the shape evolution and thermal stability of interface for Au-Pt nano-interconnection in the inert gas atmosphere
著者 (3件):
資料名:
巻: 32  号:ページ: 143-150  発行年: 2018年 
JST資料番号: C3286A  ISSN: 1673-4807  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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ナノ電気機械デバイスとシステムの急速な発展により、金属ナノワイヤ接続技術とその接続メカニズムに対する研究が引き寄せられている。MonteCarlo法を採用した。研究により、同種類の連結モデルにおいて、連結部位の界面構造は類似な変形過程を持ち、不活性気体の原子数密度が大きい時、連結部位の界面構造はよりよい熱的安定性を有することが分かった。異なる接続モデルの中で、連結部位の界面構造の変形過程は異なり、同条件下で、頭はエッジモデルの界面構造に対して最良の熱的安定性を持つ。結果は,不活性ガス雰囲気中の金属ナノワイヤの界面構造の形成メカニズムとその熱的安定性を理解するための理論的参照を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 

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