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J-GLOBAL ID：201802251332795850   整理番号：18A1203066

サイアロン工具セラミック上に堆積したPVD被覆とALD+PVDハイブリッド被覆の構造と特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation of the structure and properties of PVD coatings and ALD + PVD hybrid coatings deposited on sialon tool ceramics

著者 (6件)： Staszuk M. (Silesian University of Technology, Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Konarskiego Street 18A, 44-100, Gliwice, Poland) ,  Pakula D. (Silesian University of Technology, Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Konarskiego Street 18A, 44-100, Gliwice, Poland) ,  Chladek G. (Silesian University of Technology, Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Konarskiego Street 18A, 44-100, Gliwice, Poland) ,  Pawlyta M. (Silesian University of Technology, Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Konarskiego Street 18A, 44-100, Gliwice, Poland) ,  Pancielejko M. (Technical University of Koszalin, Faculty of Technology and Education, 2 Sniadeckich Street, 75-453, Koszalin, Poland) ,  Czaja P. (Polish Academy of Sciences, Institute of Metallurgy and Materials Science, 25 Reymonta Street, 30-059, Krakow, Poland)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 154  ページ： 272-284  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,従来のプロセスとハイブリッドALLD/PVDプロセスの両方において,サイアロン工具セラミック被覆PVDコーティングの操作特性が,主に基板への接着に依存することを示した。走査型電子顕微鏡と透過型電子顕微鏡を用いて作製した被覆構造の研究を紹介した。TEMにおける電子回折と同様にXRD法を用いて相組成分析を行った。被覆微小領域における化学組成の解析をEDS法を用いて行った。基板への被覆の微小硬さと接着も調べた。研究は,ハイブリッドプロセスで堆積した(Ti,Al)Nの被覆,すなわち,セラミック基板上のALD技術によるZnO層の事前形成,PVDプロセス中の基板分極の可能性を保証することを示し,従来法で得られたコーティング(Ti,Al)Nと比較して,著しく良好な接着と良好な爆発特性を得ることを可能にした。さらに,被覆(Al,Ti)Nの高い接着性と非常に良好な爆発特性が,基板と被覆の間の中間ゾーンの存在と非結合的に接続されていることが分かった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微小硬さ ,  セラミック被覆 ,  走査電子顕微鏡 ,  相組成 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *被覆 ,  トライボロジー ,  *セラミック ,  *SIALON ,  電子回折 ,  X線回折 ,  分極 ,  酸化亜鉛 ,  化学組成
準シソーラス用語： セラミック基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： PVD ,  ALD ,  ハイブリッドコーティング ,  トライボロジー ,  TEM

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： サイアロン ,  工具 ,  セラミック ,  堆積 ,  PVD被覆 ,  研究