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J-GLOBAL ID：201802251435867097   整理番号：18A0616018

MgB_2とNH_3の反応により得られたシリコンウエハ上の窒化ホウ素ナノシートのトライボロジー特性【Powered by NICT】

Tribological characteristics of boron nitride nanosheets on silicon wafers obtained by the reaction of MgB₂ and NH₃

著者 (14件)： E Songfeng (School of Nano Technology and Nano Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China) ,  E Songfeng (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Zhang Xiaolong (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  Li Chaowei (School of Nano Technology and Nano Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China) ,  Li Chaowei (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Long Xiaoyang (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Li Zhuo (Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, China) ,  Ma Shuanhong (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  Li Qiulong (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Geng Renjie (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Lu Weibang (School of Nano Technology and Nano Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China) ,  Lu Weibang (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China) ,  Yao Yagang (School of Nano Technology and Nano Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China) ,  Yao Yagang (Division of Advanced Nanomaterials, Key Laboratory of Nanodevices and Applications, Joint Key Laboratory of Functional Nanomaterials and Devices, CAS Center for Excellence in Nanoscience, Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 340  ページ： 36-44  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化ホウ素ナノシート(BNNSs)は,優れたトライボロジー性能を示し,それらの典型的な積層構造に起因すると考えられているグラフェンの構造類似体である。しかし,純粋な固体BNNSのトライボロジー特性は十分には研究されておらず,これはこの特別な二次元(2D)材料の合成に関する知識の欠如に起因する可能性がある。本研究では,BNNSsは化学蒸着システムにおける二ほう化マグネシウム(MgB_2)の窒化によりシリコンウエハ上に堆積した。アンモニア(NH_3)を窒素源として用いた。,摩擦と摩耗抵抗を含む,合成したBNNSのトライボロジー挙動を,CSM摩擦計で評価した。結果は,BNNSsは裸のシリコンウエハの摩擦を減少させることができることを示した。摩擦係数の平均値は負荷と周波数の変化と明らかな変化を示さなかった。負荷と周波数が増加すると摩耗速度が増加した。結果は,BNNSsは工業潤滑における良好な応用可能性を持ち,それらが小分子または重合体によって修飾した後のことを示唆した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *トライボロジー ,  化学蒸着 ,  *ナノシート ,  積層構造 ,  摩擦係数 ,  アンモニア ,  周波数 ,  重合体 ,  グラフェン ,  摩耗速度 ,  *窒化 ,  耐摩耗性 ,  *窒化ホウ素
準シソーラス用語： *トライボロジー特性 ,  *シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 窒化ホウ素ナノシート ,  トライボロジー性能 ,  減摩 ,  アブレシブ摩耗

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコンウエハ ,  窒化ホウ素 ,  ナノシート ,  トライボロジー特性