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J-GLOBAL ID：201802252482003233   整理番号：18A0813944

Si(001)表面上の非平衡エピタクシーにより成長させたGeナノ結晶膜の形態と光学的性質【JST・京大機械翻訳】

Morphology and optical properties of Ge nanocrystalline films grown by nonequilibrium epitaxy on Si (001) surface

著者 (10件)： Lysenko V.S. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Kondratenko S.V. (Taras Shevchenko National University of Kyiv, 64 Volodymyrs’ka St., 01601 Kyiv, Ukraine) ,  Kozyrev Yu.N. (O.O. Chuiko Institute of Surface Chemistry, 17 Generala Naumova St., 03164 Kyiv, Ukraine) ,  Kladko V.P. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Yo. Gudymenko O. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Strelchuk V.V. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Nikolenko A.S. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Kondratenko O.S. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine) ,  Iliash S.A. (Taras Shevchenko National University of Kyiv, 64 Volodymyrs’ka St., 01601 Kyiv, Ukraine) ,  Pekar G.S. (Institute of Semiconductor Physics, 41 Prospect Nauki, 03028 Kyiv, Ukraine)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 654  ページ： 54-60  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GeおよびSiGeナノ結晶を有する薄膜の光学的性質および形態を,Raman散乱,多角度偏光解析およびX線測定の方法を用いて研究した。350°C,高成長速度でのSi(001)表面上の低温Geエピタクシーは,約50%の多孔性を持つGeナノ結晶から成る薄膜の形成をもたらすことを観察結果は示した。膜表面へのSi吸着原子の堆積は,ナノ結晶による表面の再構成を刺激し,Ge結晶度の増加,隣接するナノ結晶の合体,およびわずかなSi-Ge混合における結果となる。シリコン蒸着による光学定数の値の変化をBruggeman近似により記述した。これらの変化の主な理由は,Siキャッピング層を持つ構造における膜の結晶化とSi結晶相の出現である。作製したGeナノ結晶固体とSiで被覆した膜は,ホッピング領域で動作する膜と素子の高い吸収容量のために,量子ドット太陽電池に使用できる。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学定数 ,  多孔性 ,  蒸着 ,  *ナノ結晶 ,  成長速度 ,  薄膜 ,  X線回折 ,  低温 ,  *エピタクシー ,  *形態 ,  *ケイ素 ,  結晶度 ,  結晶化 ,  *ゲルマニウム ,  偏光解析法

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  形態学 ,  Geナノ結晶膜 ,  Raman分光法 ,  光学的性質 ,  X線回折

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： Si ,  非平衡 ,  エピタクシー ,  成長 ,  Ge ,  ナノ結晶 ,  形態 ,  光学的性質