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J-GLOBAL ID：201802252503915145   整理番号：18A0849738

高ダイナミックレンジCMOS-MEMS容量加速度計アレイ【JST・京大機械翻訳】

High dynamic range CMOS-MEMS capacitive accelerometer array

著者 (6件)： Guney Metin G. (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA) ,  Li Xiaoliang (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA) ,  Chung Vincent Pey J. (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA) ,  Paramesh Jeyanandh (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA) ,  Mukherjee Tamal (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA) ,  Fedder Gary K. (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMS  ページ： 992-995  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,92mGバイアス安定性と±50kG設計入力範囲を持つ高g CMOS-MEMS容量加速度計アレイの設計と特性化について報告した。読出し回路とMEMS変換器のオンチップ集積は,センスノード寄生容量を最小化し,したがって,感度とダイナミックレンジを改善する。個々の加速度計細胞の小さいサイズと質量は,高いg生存性を確実にする。アレイを横切る加速度計セルからの信号の平均化は,信号対雑音比を改善し,したがってダイナミックレンジを改善する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： バイアス ,  *MEMS ,  変換器 ,  *加速度計 ,  *CMOS ,  SN比 ,  キャラクタリゼーション ,  漂遊容量 ,  *ダイナミックレンジ
準シソーラス用語： 生存性 ,  オンチップ ,  読出回路 ,  *高ダイナミックレンジ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高ダイナミックレンジ ,  CMOS ,  MEMS ,  加速度計 ,  アレイ