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J-GLOBAL ID：201802252659341257   整理番号：18A0855872

マグネトロンスパッタCu-Cr薄膜の微細構造と機械的性質の調整:最適Cr添加【JST・京大機械翻訳】

Tuning the microstructure and mechanical properties of magnetron sputtered Cu-Cr thin films: The optimal Cr addition

著者 (12件)： Li X.G. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Cao L.F. (Electron Microscopy Center of Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Cao L.F. (College of Materials Science and Engineering, Chongqing University, 400044, China) ,  Zhang J.Y. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Li J. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Zhao J.T. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Feng X.B. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Wang Y.Q. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Wu K. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Zhang P. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Liu G. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China) ,  Sun J. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, PR China)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 151  ページ： 87-99  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 合金化による粒界(GB)工学は,その機械的性質を調整するための合金中の界面を設計するための道を開き,したがって,合金元素の最適添加を決定することは非常に重要である。ここでは,Cu薄膜の微細構造と機械的性質に及ぼすCr合金化効果を研究するために,非平衡マグネトロンスパッタリング堆積により非混和性Cu-Cr合金薄膜を調製した。Crドーピングは結晶粒を顕著に微細化し,平均GB Cr濃度≦~15at%に関連した低Cr体積濃度(≦~3.7at.%)で完全にナノ双晶化した柱状結晶粒の形成を促進し,それ以上ではナノ双晶の形成が著しく抑制されることを見出した。双晶化過程におけるCr原子/クラスタプライドの役割を転位再結合促進機構の観点から合理的に説明した。重要なことに,最大硬度は~2.0at.%の最適Cr添加で発見された。Cu-Cr合金膜のCr濃度依存硬度を複合強化モデルによって定量化した。最大硬度の達成は最大GB溶質偏析誘起強度寄与に関連した。さらに,Cu-Cr系は歪速度感受性(SRS,m)がCr濃度の増加と共に単調に減少することを明らかにした。これは正のm=0.0314(純粋なCu)から負のm-0.0245までの範囲であり,転位-境界相互作用(mの増加)と転位-溶質原子相互作用(mの減少)の間の競合に起因する。これらの知見は,最適化された機械的性能を達成するために合金薄膜の組成を調整するための価値ある洞察を提供する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *銅 ,  溶質 ,  *薄膜 ,  *微細構造 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  結晶粒 ,  スパッタ蒸着 ,  合金化 ,  硬度 ,  *機械的性質 ,  クロム合金 ,  相互作用 ,  *クロム
準シソーラス用語： 双晶化 ,  ナノ双晶 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ナノ構造Cu-Cr膜 ,  合金化 ,  機械的性質 ,  ナノ双晶

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタ ,  Cu ,  Cr ,  薄膜 ,  微細構造 ,  機械的性質