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J-GLOBAL ID：201802253380110363   整理番号：18A0097802

光誘起電気化学蒸着による金属微小電極加工法【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of Metal Microelectrode Based on Optically Induced Electrochemical Deposition

著者 (3件)： Guan Tao (沈陽理工大学机械工程学院,沈陽110159;中国科学院沈陽自動化研究所机器人学国家重点実験室,沈陽110016) ,  Cong Peitian (沈陽理工大学机械工程学院,沈陽,110159) ,  Liu Zhu (中国科学院沈陽自動化研究所机器人学国家重点実験室,沈陽,110016)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 5  ページ： 650-654  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ナノ材料は独特の物理化学的性質を有し、ナノ電子デバイスとバイオセンシングなどの面で巨大な応用潜在力を示した。二次元ナノ材料に基づくデバイスは,金属電極を用いてセンサや電界効果トランジスタ構造を構築する必要がある。現在、いくつかの方法により金属電極を作製し、例えば、フォトリソグラフィー、集束イオンビーム及びナノインプリンティングなどの方法があるが、これらの方法は通常高価な設備を必要とし、しかも操作は非常に複雑である。光誘導に基づく金属ナノ電極の堆積方法を提案し、多数の実験パラメータ(入力交流電気信号の周波数、振幅、溶液濃度及び水素化アモルファス層厚さ)を分析することによって、最適化した金属電極の沈積条件を得た。これらの結果に基づいて,光学顕微鏡,原子間力顕微鏡,走査電子顕微鏡を用いて,金属電極を特性化した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *微小電極 ,  FET【トランジスタ】 ,  キャラクタリゼーション ,  バイオセンサ ,  光学顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  最適化 ,  集束イオンビーム ,  フォトリソグラフィー ,  ナノ材料 ,  非晶質 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： ナノ電極 ,  ナノインプリント ,  金属電極 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： optically-induced electrodeposition ,  metal microelectorde ,  AFM ,  eletrochemical deposition

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光誘起 ,  電気化学蒸着 ,  微小電極