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J-GLOBAL ID：201802253384156674   整理番号：18A1435264

AFAMナノポーラスシリカ薄膜の超音波振幅イメージングに基づく実験的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental Research on Ultrasonic Amplitude Imaging of Nano-porous Silicon Oxide Film Based on AFAM

著者 (5件)： Zhang Gaimei (北京印刷学院印刷与包装工程学院,北京,102600) ,  Cao Yue (北京印刷学院印刷与包装工程学院,北京,102600) ,  Song Xiaoli (北京印刷学院印刷与包装工程学院,北京,102600) ,  He Cunfu (北京工業大学机械工程与応用電子技術学院,北京,100124) ,  Hong Fu (北京印刷学院印刷与包装工程学院,北京,102600)
資料名： Beijing Gongye Daxue Xuebao  (Beijing Gongye Daxue Xuebao)
巻： 44  号： 5  ページ： 757-763  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2401A  ISSN： 0254-0037  CODEN： BGDXD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(atomicforceacousticmicroscopy)を研究した。AFAMは,ナノ多孔性酸化シリコン膜の超音波振幅イメージングの影響因子であり,AFAM技術に基づく共鳴周波数検出および超音波振幅イメージングシステムを用いた。ナノシリカ膜とナノ多孔性酸化シリコン薄膜の2次接触共振周波数と超音波振幅画像を得て,実験のパラメータ,例えば励起周波数,および時間の効果を解析した。安定性に及ぼす走査周波数の影響とナノ摩擦力に及ぼす超音波励起の影響を研究した。実験結果は,超音波周波数が超音波振幅イメージングのコントラストに影響し,超音波励起が走査中の摩擦力を減少させることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 周波数 ,  画像 ,  摩擦力 ,  コントラスト ,  *超音波 ,  原子間力顕微鏡 ,  *画像処理 ,  励起 ,  *薄膜 ,  共振周波数 ,  走査 ,  酸化
準シソーラス用語： ナノ摩擦 ,  シリカナノ粒子 ,  *ナノポーラス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： atomic force acoustic microscope ,  nano-film ,  amplitude imaging ,  ultrasonic excitation

分類 (1件)： 計算機網  (JC03000K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ポーラスシリカ ,  薄膜 ,  超音波 ,  振幅 ,  イメージング ,  実験的研究