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J-GLOBAL ID：201802253391062154   整理番号：18A0593922

シリコンウィンドウ上でのSiO₂/Si₃N₄多層膜の反射防止膜を用いた非冷却マイクロボロメータの性能評価

Performance Evaluation for Uncooled Microbolometer Using Antireflection Coating of SiO₂/Si₃N₄ Multiple Films on Silicon Window

著者 (4件)： ZENG Hong-Yuan (National Defense Univ., Tauyuan County, TWN) ,  ZENG Hong-Yuan (National Chung Shun Inst. Sci. and Technol., Tauyuan County, TWN) ,  TANG Shiang-Feng (National Chung Shun Inst. Sci. and Technol., Tauyuan County, TWN) ,  CHEN Tzu-Chiang (National Defense Univ., Tauyuan County, TWN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 30  号： 3 (1)  ページ： 339-345  発行年： 2018年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *反射防止膜 ,  光学窓 ,  光学設計 ,  薄膜 ,  多層膜 ,  ボロメータ ,  *赤外検出器 ,  温度センサ ,  FTIR分光法 ,  赤外線 ,  物理蒸着 ,  透過率 ,  二酸化ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  ケイ素 ,  計算機プログラム ,  性能評価
準シソーラス用語： 光学薄膜 ,  *マイクロボロメータ ,  熱センサ ,  LWIR【赤外線】

分類 (3件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  (BD03020B) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (8件)： シリコン ,  ウィンドウ ,  SiO2 ,  Si3N4 ,  多層膜 ,  反射防止膜 ,  マイクロボロメータ ,  性能評価