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J-GLOBAL ID：201802253513891446   整理番号：18A1426439

1560の性能指数を持つXカットニオブ酸リチウム横振動MEMS共振器【JST・京大機械翻訳】

X-Cut Lithium Niobate Laterally Vibrating MEMS Resonator With Figure of Merit of 1560

著者 (4件)： Colombo Luca (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Kochhar Abhay (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Vidal-Alvarez Gabriel (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA) ,  Piazza Gianluca (Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 4  ページ： 602-604  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 50MHz付近で動作するXカットニオブ酸リチウム横方向振動共振器の設計,製作,試験について報告し,1560の共振(Q_s)における電気機械結合(k_t~2)と品質因子の記録性能を示した。実用化のために,個々の共振器を大アレイに配置し,約1pFの静電容量を達成し,一方,570の高いFoMを維持した。有限要素解析を通してのアンカ損失のモデリングを用いて,これらの共振器の設計を誘導した。それは,真空中で高い電気機械結合(k_t~2>30%)と高品質因子(Q_s>5000)を同時に示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モデリング ,  *性能指数 ,  *共振器 ,  *共振 ,  *横振動 ,  静電容量 ,  電気機械 ,  *ニオブ酸リチウム
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  品質因子 ,  *MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 性能指数 ,  ニオブ酸リチウム ,  横振動 ,  MEMS共振器