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J-GLOBAL ID：201802254721253302   整理番号：18A0587577

バイオセンシングのためのMEMS水晶質量センサアレイの設計と最適化【Powered by NICT】

Design and optimization of a MEMS quartz mass sensor array for biosensing

著者 (8件)： Zainuddin Ahmad Anwar (Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, IIUM Kuala Lumpur, Malaysia) ,  Nordin Anis Nurashikin (Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, IIUM Kuala Lumpur, Malaysia) ,  Ralib Aliza Aini Md (Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, IIUM Kuala Lumpur, Malaysia) ,  Rahim Rosminazuin Ab (Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, IIUM Kuala Lumpur, Malaysia) ,  Khan Sheroz (Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, IIUM Kuala Lumpur, Malaysia) ,  Guines Cyril (XLIMResearch Institute, UMR CNRS 7252 Universite ́ de Limoges, Limoges Cedex, France) ,  Chatras Matthieu (XLIMResearch Institute, UMR CNRS 7252 Universite ́ de Limoges, Limoges Cedex, France) ,  Pothier Arnaud (XLIMResearch Institute, UMR CNRS 7252 Universite ́ de Limoges, Limoges Cedex, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSIMA  ページ： 1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ほとんどの市販石英結晶微量天秤(QCM)センサは単一AT水晶デバイスとして作製し,バイオセンサ応用のための使用した。これは単一時間で複数の標的を検出するセンサの能力を制限している。これを克服するために,本研究では,設計,MEMS水晶質量(QCM)センサアレイの最適化とシミュレーションを提案した。作用電極半径,R=100μmと電極の間の中心距離に,2.5mmの四個のセンサのアレイ中に置かれた円形質量センサを設計した。COMSOLシミュレーションに基づいて,10.40MHzの共振周波数と液体中の0.223Hz。cm~2ng~( 1)の質量感度が得られた。シミュレーションは,それらの信号が互いに干渉しないようなアレイにおける四重MEMSセンサの最適な配置を示した。40kHzまでの共鳴周波数の低分解をシミュレーション結果に基づいて観察された。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  *センサ ,  *MEMS ,  シミュレーション ,  *センサアレイ ,  *最適化 ,  *バイオセンサ
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  COMSOL ,  *質量センサ ,  作用電極 ,  水晶微量天秤 ,  *水晶 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 分析機器  (CC02020S) ,  微生物検査法  (EG02020G) ,  質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  共振器  (NC04050Y) ,  生化学的分析法  (EA03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： バイオセンシング ,  MEMS ,  水晶 ,  質量センサ ,  アレイ ,  設計 ,  最適化