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J-GLOBAL ID：201802254960512357   整理番号：18A0407682

静電容量型微細加工超音波変換器の語用論【Powered by NICT】

Pragmatics of capacitive micromachined ultrasonic transducer

著者 (4件)： Sharma Rashmi (Amity School of Engineering & Technology, New Delhi, India) ,  Agarwal Rekha (Amity School of Engineering & Technology, New Delhi, India) ,  Dubey Ashwani Kumar (Amity University Uttar Pradesh, Noida, India) ,  Arora Anil (Thapar University, Patiala, Punjab, India)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICETCCT  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二桁上のシリコンマイクロマシニング技術の発展に伴い静電容量型微細加工超音波変換器(CMUT)は圧電変換器のための良好な代替物であることが分かった。CMUTは1D及び2Dアレイを用いた急性低コスト・高機能素子の生成をもたらすオンチップエレクトロニクスと一体化すれば完全に両立できる利点を持っている。CMUTは円形,正方形,矩形及び六角形のような種々の形状を作製することができた。形状は超音波変換器の開発において重要な役割を果たす。CMUTの重要性は電圧,C-V特性,resonantfrequencyと設計されたCMUTの偏向プロファイルにおけるプルを含む本論文で議論されている。時間依存解析,定常解析と固有周波数をCOMSOLで行われている。有限要素モデリングは,CMUTの3Dモデルを実現した。CMUTは医用イメージング,非破壊試験,距離測定などに応用されている。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 固有振動数 ,  マイクロマシニング ,  一次元 ,  非破壊検査 ,  *超音波変換器 ,  電圧 ,  機能素子 ,  二次元 ,  距離測定 ,  ケイ素 ,  時間依存性
準シソーラス用語： 有限要素モデリング ,  COMSOL ,  圧電変換器 ,  *CMUT , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (2件)： 静電容量型微細加工超音波変換器 ,  語用論